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用語集
PLD(パルスレーザー堆積
レーザービーム蒸発中のプロセス温度の監視は、パイロメーターを使用して行うことができます。
インダストリアルソリューションガイド - 半導体製造 - PLD (パルスレーザーデポジション)
あなたの利点:
パルスレーザー蒸着 (PLD) 中のターゲットまたは基板の温度測定
内蔵のブロッキングフィルターにより、レーザーおよびプラズマ放射の影響を受けない
高解像度レンズにより、可能な限り小さな物体の測定が可能
内蔵のビデオカメラまたはレンズを通しての照準による正確な位置合わせ
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